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罗茨真空泵可以和螺杆真空泵组成真空度更高的罗茨螺杆真空机组。
干式真空机组是以罗茨真空泵为主泵,螺杆真空泵为前级泵的真空机组。此机组的过流部分没有任何液体作为工作液,对被抽工艺气体不产生任何二次污染,有利于保持被抽系统的清洁,便于可凝性气体的回收。
组型号 |
泵型号 |
最大抽气量 (L/S) |
极限压力 (Pa)A |
功率 (KW) |
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主泵 |
前级泵 |
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JZJSP70-2 |
ZJ-70 |
SP40-4 |
70 |
1 |
0.75KW+4KW=4.75KW |
JZJSP150-1 |
ZJP-150 |
SP110-4 |
150 |
2.2KW+15KW=17.2KW |
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JZJSP150-2 |
ZJP-150 |
SP70-4 |
150 |
2.2KW+7.5KW=9.7KW |
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JZJSP300-2 |
ZJP-300 |
SP110-4 |
300 |
4KW+15KW=19KW |
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JZJSP300-4 |
ZJP-300 |
SP70-4 |
300 |
4KW+7.5KW=11.5KW |
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JZJSP600-2 |
ZJP-600 |
SP200-4 |
600 |
5.5KW+18.5KW=24KW |
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JZJSP600-4 |
ZJP-600 |
SP110-4 |
600 |
5.5KW+15KW=20.5KW |
由于此种机组具有大抽气量、高真空度、无污染的特点、性能稳定,因此其应用越来越广泛。
常见机组配型如下:
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